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申请/专利权人：拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司
摘要：本实用新型提供了一种插板阀及薄膜沉积装置。所述插板阀包括：阀板，其上设有密封胶圈，用于伸入阀盒，以关闭所述插板阀所在的气体管路，或退出所述阀盒，以开启所述气体管路，其中，所述气体管路用于传输腐蚀性气体；以及所述阀盒，包括挡板，其中，所述挡板设于所述插板阀的出气端之后，用于在所述气体管路开启时，隔离所述出气端与所述阀板。
主权项：1.一种插板阀，其特征在于，包括：阀板，其上设有密封胶圈，用于伸入阀盒，以关闭所述插板阀所在的气体管路，或退出所述阀盒，以开启所述气体管路，其中，所述气体管路用于传输腐蚀性气体；以及所述阀盒，包括挡板，其中，所述挡板设于所述插板阀的出气端之后，用于在所述气体管路开启时，隔离所述出气端与所述阀板。
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