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申请/专利权人：上海赋利电子科技有限公司

摘要：本发明公开了一种TCS鼓泡输送装置，包括底座，所述底座上分别固定连接有固定架和反应罐，所述固定架上分别安装有第一过滤机构和第二过滤机构，所述反应罐内部设置有气泡发生机构，且所述反应罐内部放入有回收筒，所述回收筒的顶端边缘处固定连接有若干个提手，且所述回收筒的底部开设有若干个通孔，所述反应罐顶部安装有顶盖，所述顶盖的顶部固定连接有出气管，所述出气管上安装有出气阀。本发明可在输送前对三氯硅烷气体进行多次过滤，可有效扩大三氯硅烷气体小气泡的生成范围，使其能够均匀扩散至整个反应罐内，并与液态介质充分接触，可对反应生成的多晶硅等产物集中回收并快速取出，避免了反应产物粘附在反应容器的底部。

主权项：1.一种TCS鼓泡输送装置，其特征在于，包括底座，所述底座上分别固定连接有固定架和反应罐，所述固定架为L形，且所述固定架上分别安装有第一过滤机构和第二过滤机构，所述反应罐的横截面为圆形，其内部设置有气泡发生机构，且所述反应罐的内部放入有回收筒，所述回收筒的顶端边缘处固定连接有若干个提手，且所述回收筒的底部开设有若干个通孔，所述反应罐的顶部安装有顶盖，所述顶盖的顶部固定连接有出气管，所述出气管上安装有出气阀；所述第一过滤机构包括第一过滤仓，所述第一过滤仓固定连接在固定架的侧壁，其底部和顶部分别固定连接有进气管和导气管，所述进气管和导气管的一端管口均与第一过滤仓的内腔相连通，且所述进气管上安装有进气阀，所述第一过滤仓上安装有第一仓盖，所述第一仓盖上固定连接有若干个滤网；所述第二过滤机构包括第二过滤仓，所述第二过滤仓的横截面为圆形，其顶部安装有第二仓盖，且所述第二过滤仓的侧壁开设有若干个分流孔，所述第二过滤仓的侧壁固定连接有导气仓，所述导气仓为环形，其内部为空心结构，且所述导气仓的内壁开设有若干个导气孔，所述导气管的另一端管口固定连接在导气仓的侧壁并与导气仓的内腔相连通，所述第二过滤仓的底部固定连接有输气管，所述输气管贯穿固定架的顶部，其一端管口与第二过滤仓的内腔相连通；所述气泡发生机构包括多孔板，所述多孔板固定连接在反应罐的底端内壁，且所述多孔板的下方与反应罐的底部之间形成有导流腔，所述输气管的另一端管口固定连接在反应罐的侧壁并与导流腔相连通，所述多孔板的顶部设置有若干个气泡喷嘴，所述气泡喷嘴的顶端侧壁开设有若干个气泡孔。

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