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申请/专利权人：涌淳半导体(无锡)有限公司
摘要：本发明涉及晶圆测温技术领域，且公开了一种用于晶圆测温的校准设备及其校准方法，包括晶圆片，所述晶圆片的下方设置有支座，所述支座的两侧固定连接有支撑侧板，所述支座的后侧设置有测温仪，所述测温仪的前侧面固定连接有传输线，所述传输线的顶端固定连接有传感器，所述支座的顶部开设有接线口，本发明中，限位夹持框贴合后限制传输线的移动范围，避免传输线缠绕，提升了安全性和传输数据的准确性，半圆弧定位环可以单独将每一根传输线夹住，进一步避免了传输线缠绕，半圆弧定位环对不同粗细的传输线进行夹持时可以根据传输线的粗细使弹性伸缩轴收缩或伸出，提升了夹持范围和适用性。
主权项：1.一种用于晶圆测温的校准设备，包括晶圆片（1），其特征在于：所述晶圆片（1）的下方设置有支座（2），所述支座（2）的两侧固定连接有支撑侧板（3），所述支座（2）的后侧设置有测温仪（4），所述测温仪（4）的前侧面固定连接有传输线（41），所述传输线（41）的顶端固定连接有传感器（42），所述支座（2）的顶部开设有接线口（43），所述支撑侧板（3）靠近支座（2）的一侧固定连接有双动子直线电机（5），所述双动子直线电机（5）的上表面前后两侧分别滑动连接有两个传动滑块（6），两个所述传动滑块（6）远离双动子直线电机（5）前后两端的一侧分别固定连接有两个传动杆（61），两个所述传动杆（61）的内表面分别固定连接有两个限位夹持框（62），后侧所述限位夹持框（62）前侧面固定连接有卡块（63），前侧所述限位夹持框（62）后侧面开设有卡槽（64），所述限位夹持框（62）的内表面固定连接有套轴（65），所述套轴（65）的内表面滑动连接有弹性伸缩轴（66），所述弹性伸缩轴（66）远离套轴（65）的一端固定连接有半圆弧定位环（67）；所述支座（2）的上方设置有用于固定晶圆片（1）的晶圆定位装置（7），所述支座（2）的上方设置有用于在晶圆片（1）测温时将晶圆片（1）保护起来的检测防护装置（8）。
全文数据：
权利要求：
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