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一种具有热漂移在线补偿功能的接触式微纳米探头 

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申请/专利权人:合肥工业大学

摘要:本发明公开了一种具有热漂移在线补偿功能的接触式微纳米探头,包括具有圆柱形内腔的探头壳体;微球探针呈竖直固定在弹性簧片的下表面,分光棱镜固定在弹性簧片上表面,激光器和直角棱镜固定设置在探头壳体的下盖上,弹性簧片设置在下盖的中空圆面处;激光器和直角棱镜分处在分光棱镜的两侧,使激光器水平发射的准直光投射至分光棱镜,分光棱镜反射光向上投射至第一位置敏感探测器,分光棱镜透射光投射至直角棱镜,并经直角棱镜反射向上投射至第二位置敏感探测器;利用第二位置敏感探测器实现出射光热漂移测量,有效提高热稳定性。

主权项:1.一种具有热漂移在线补偿功能的接触式微纳米探头,其特征是包括:探头壳体,其是在圆柱竖筒4的顶端和底端分别设置上盖1和下盖6,形成具有圆柱形内腔的探头壳体,所述下盖6是具有中空圆面的环形端盖;测头单元,其包括微球探针8呈竖直固定在弹性簧片7的下表面的中心位置处,分光棱镜10固定在所述弹性簧片7的上表面的中心位置处,激光器9和直角棱镜5固定设置在下盖6的上端面上,弹性簧片7设置在下盖6的中空圆面处;所述激光器9和直角棱镜5分处在分光棱镜10的两侧,使所述激光器9水平发射的准直光投射至分光棱镜10,使分光棱镜10的反射光向上投射,分光棱镜10的透射光投射至直角棱镜5,并经所述直角棱镜5反射向上投射;感测单元,其包括固定设置在上盖1的下端面上的第一位置敏感探测器2和第二位置敏感探测器3,所述分光棱镜10中形成的反射光投射至第一位置敏感探测器2,直角棱镜5的反射光投射到第二位置敏感探测器3;利用第二位置敏感探测器3实现出射光热漂移测量。

全文数据:

权利要求:

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