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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明涉及一种基板处理方法与处理液评价方法。基板处理方法用于处理形成有图案P的基板W。基板处理方法具备处理液供给步骤、固化膜形成步骤及升华步骤。在处理液供给步骤中，将处理液L供给至基板W。处理液L包含升华性物质与溶剂。在固化膜形成步骤中，溶剂自基板W上的处理液L蒸发。在固化膜形成步骤中，固化膜G形成于基板W上。固化膜G包含升华性物质。系数K通过界面自由能γLG、γGW、γLW定义。系数K为阈值TH以下。
主权项：1.一种基板处理方法，处理形成有图案的基板，其中，具备：处理液供给步骤，将包含升华性物质与溶剂的处理液供给至上述基板；固化膜形成步骤，使上述溶剂自基板上的上述处理液蒸发，将包含上述升华性物质的固化膜形成于上述基板上；及升华步骤，使上述固化膜升华；且通过下式定义的系数K为阈值以下，K＝γLG+γGW-γLW其中，K：系数，γLG：上述处理液与上述固化膜之间的界面的界面自由能，γGW：上述固化膜与上述基板之间的界面的界面自由能，γLW：上述处理液与上述基板之间的界面的界面自由能。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 基板处理方法及处理液评价方法
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