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申请/专利权人：江西联创电子有限公司
摘要：本发明提供了一种光学薄膜膜厚监控装置及镀膜设备，包括中间监控片、外侧监控片、底壳和旋转件，所述底壳中间位置开设有贯穿底壳的通孔，所述中间监控片设于所述通孔内且与所述底壳连接；所述壳体上远离通孔的一侧设置有贯穿底壳的镀膜孔，所述外侧监控片绕中间监控片旋转设置于所述底壳上，且所述外侧监控片至少部分覆盖所述镀膜孔；所述旋转件驱动所述外侧监控片旋转。本发明可以通过外侧监控片旋转监控不同阶段的膜层厚度，和中间监控片监控整个镀膜过程完成的膜层厚度，通过两者结合分析镀膜工艺，精确控制镀膜厚度，提升镀膜水平，也提升了量产镀膜的良率，该装置结构简单，拆装方便，提高了工作效率。
主权项：1.光学薄膜膜厚监控装置，其特征在于，包括中间监控片4、外侧监控片2、底壳1和旋转件9，所述底壳1中间位置开设有贯穿底壳1的通孔103，所述中间监控片4设于所述通孔103内且与所述底壳1连接；所述壳体上远离通孔103的一侧设置有贯穿底壳1的镀膜孔101，所述外侧监控片2绕中间监控片4旋转设置于所述底壳1上，且所述外侧监控片2至少部分覆盖所述镀膜孔101；所述旋转件9驱动所述外侧监控片2旋转。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江西联创电子有限公司 光学薄膜膜厚监控装置及镀膜设备
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