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申请/专利权人：应用材料公司

摘要：描述了双通道喷淋头组件。在一些实施方式中，包括喷淋头上板和喷淋头下板的双通道喷淋头组件使得能够沿着分离的通道输送相互不相容的前驱物，这些前驱物在晶片上方的处理区中混合。双通道喷淋头组件提供至少两个分离的气体路径。在一些实施方式中，孔洞设计和孔洞分布被配置以用于最小喷射效应和用于快速净化的气室容积。本文描述的双通道喷淋头组件相较于单通道喷淋头、螺旋双通道喷淋头、或接合的双通道喷淋头可具有减少的净化时间。

主权项：1.一种双通道喷淋头组件，包括：热基底，所述热基底具有界定所述热基底的厚度的后表面及前表面，延伸穿过所述热基底的所述厚度至所述前表面的至少一个第一气体通道，及延伸穿过所述热基底的所述厚度至所述前表面的至少一个第二气体通道；喷淋头上板，所述喷淋头上板具有界定所述喷淋头上板的厚度的后表面及前表面，所述喷淋头上板的所述后表面的一部分与所述热基底的所述前表面的一部分间隔一距离以形成上气室，所述热基底的所述至少一个第一气体通道在所述热基底的所述前表面中在形成所述上气室的所述部分处具有孔隙，所述喷淋头上板的所述后表面的外周边区域与所述热基底的所述前表面的外周边区域接触，所述热基底的所述至少一个第二气体通道具有与通过所述喷淋头上板的所述厚度至在所述喷淋头上板的所述前表面中形成的孔隙的至少一个第二气体通道对准的孔隙，所述喷淋头上板的所述前表面具有从所述喷淋头上板的所述前表面延伸的多个间隔开的气体凸台，所述气体凸台的每一者具有气体凸台外周边壁及气体凸台前表面，所述喷淋头上板具有从所述后表面延伸至所述气体凸台前表面中的孔隙的多个第一气体通道；及喷淋头下板，所述喷淋头下板具有界定所述喷淋头下板的厚度的后表面及前表面，所述喷淋头下板的所述后表面的一部分与所述喷淋头上板的所述前表面的一部分间隔一距离以形成下气室，所述喷淋头下板的所述后表面的外周边区域与所述喷淋头上板的所述前表面的外周边区域接触，多个下开口延伸穿过所述喷淋头下板的所述厚度，所述多个下开口与所述喷淋头上板的所述多个间隔开的气体凸台对准，所述多个下开口的每一者具有下开口壁，所述下开口壁经设定大小以在所述气体凸台外周边壁与所述下开口壁之间提供间隙，以允许来自所述下气室的气流通过所述喷淋头下板的所述厚度。

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