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申请/专利权人：派克泰克封装技术有限公司

摘要：本发明提供一种接合头及接合设备，接合头用于将第一基板保持成与第二基板呈特定三维位置关系，并通过熔化接合材料沉积物将基板接合在一起。接合头包括：主体，具有激光导管；真空源，被构造成经由真空压力通道在激光导管中产生真空，真空压力通道通过主体通向布置在激光导管内部的真空压力端口；和激光源，被构造成发射激光束并将其引导通过激光导管到激光出口。接合头还包括保持喷嘴，可交换地安装到主体，且具有喷嘴导管，其从布置成与激光出口连通的喷嘴入口延伸到布置在与主体相对侧上的喷嘴出口，使激光束穿过喷嘴导管。喷嘴出口具有小于第一基板上的保持面的横截面，使得当真空源在激光导管中产生真空时，第一基板被保持喷嘴保持。

主权项：1.一种接合头4、70、86、96、120，所述接合头用于将第一基板8、42、72、114保持成与第二基板6、106呈特定三维位置关系，并通过将激光束12施加到所述第一基板8、42、72、114来熔化布置在所述基板的接触区域之间的接合材料沉积物10、84、102，将所述基板接合在一起，所述接合头4、70、86、96、120包括：主体14、122，所述主体具有从激光入口18延伸到激光出口20的激光导管16、80、88、108、130，真空源22，所述真空源被构造成经由真空压力通道24在所述激光导管16、80、88、108、130中产生真空，所述真空压力通道通过所述主体14、122通向布置在所述激光导管16、80、88、108、130内部的真空压力端口26，以及激光源28，所述激光源被构造成发射所述激光束12并将其引导通过所述激光导管16、80、88、108、130到达所述激光出口20，其中，所述接合头4、70、86、96、120进一步包括：保持喷嘴30、78、92、100，所述保持喷嘴可交换地安装到所述主体14、122，并且具有喷嘴导管32、82、90、110，所述喷嘴导管从布置成与所述激光出口20连通的喷嘴入口34延伸到布置在与所述主体14、122相对的一侧上的喷嘴出口36、76、94、98，使得所述激光束12穿过所述喷嘴导管32、82、90，110，其中所述喷嘴出口36、76、94，98具有小于所述第一基板8、42、72，114上的保持面44、74的横截面，使得当所述真空源22在所述激光导管16、80、88、108、130中产生真空时，所述第一基板8、42、72、114被所述保持喷嘴32、82、90、110保持。

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