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X射线分析装置 

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申请/专利权人:株式会社岛津制作所

摘要:本发明提供一种X射线分析装置。X射线分析装置具备:激发源,其对试样照射激发线;分光晶体,其对从被照射了激发线的试样放出的特征X射线按每个波长进行分光;线检测器,其具有以分别测定由分光晶体进行分光所得到的多个波长的强度的方式排列的多个检测元件;狭缝,其配置在试样与分光晶体之间;致动器,其构成为能够使狭缝在与特征X射线的通过方向交叉的方向上移动;以及控制装置。控制装置使用狭缝处于初始位置时的测定结果和狭缝从初始位置起移动了规定量之后的测定结果来分析试样。

主权项:1.一种X射线分析装置,具备:激发源,其对试样照射激发线;分光晶体,其对从被照射了所述激发线的试样放出的特征X射线按每个波长进行分光;线检测器,其具有以分别测定由所述分光晶体进行分光所得到的多个波长的强度的方式排列的多个检测元件;狭缝,其配置在所述试样与所述分光晶体之间;驱动装置,其构成为能够使所述狭缝在与所述特征X射线的通过方向交叉的方向上移动;以及控制装置,其中,所述控制装置使用第一测定的结果和第二测定的结果来对所述试样进行分析,所述第一测定是在所述狭缝处于第一位置时所述线检测器进行的测定,所述第二测定是在通过所述驱动装置使所述狭缝从所述第一位置起移动而处于第二位置时所述线检测器进行的测定。

全文数据:

权利要求:

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