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申请/专利权人：上海科技大学;厦门大学
摘要：本发明提供一种适于晶圆级原位检测的光耦合器，包括片上波导和片外特种光纤，所述片上波导和片外特种光纤之间绝热耦合，本发明还提供一种适于晶圆级原位检测的光耦合器在集成光子学领域中的应用；本发明的适于晶圆级原位检测的光耦合器经过优化在极广的波长区间实现99％以上的耦合效率，效率高、带宽大、偏振不敏感、对准容差大、测试简单，可以进行晶圆级原位测量。
主权项：1.一种适于晶圆级原位检测的光耦合器，其特征在于，包括片上波导和片外特种光纤，所述片上波导和片外特种光纤之间绝热耦合。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海科技大学 厦门大学 一种适于晶圆级原位检测的光耦合器及其应用
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