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申请/专利权人：厦门大学
摘要：利用高分子量固态聚碳硅烷制备高导热氮化硅纳米粉体的装置及方法，涉及材料合成。以不熔融可溶解的高分子量聚碳硅烷为原料，先将其在溶剂中溶解，而后进行常温雾化，雾化液滴经载气吹送下快速完成干燥、氨化脱碳和热解无机化和高温晶化过程，获得结晶度高、纯度高、一次粒径小的Si3N4纳米粉体，该粉体烧结制备的氮化硅陶瓷具有优异的导热性能和力学性能，可用于制备新一代高功率芯片的氮化硅散热基板。工艺简单、产物纯净，可设计性强，成本低，具有工程化应用的价值。
主权项：1.利用高分子量固态聚碳硅烷制备高导热氮化硅纳米粉体的装置，其特征在于包括气体循环雾化装置和氨化热解装置；气体循环雾化装置由雾化喷头、旋风分离器、循环风机、连接风管、节流孔板、溶剂冷凝器、吹扫喷管组成；氨化热解装置由连续的三段加热装置、气体预热器、气体分配板、分离隔板、高温旋风分离器、尾气冷却过滤器、粉体下降管及粉体收集罐组成；旋风分离器位于雾化喷头下方，与循环风机通过风管相连，用于将PCS粉体与载气分离，分离后PCS粉体沉降至旋风分离器底部；所述雾化喷头设在连接风管内，节流孔板设于循环风机的出风口处；溶剂冷凝器的进、出口分别位于节流孔板两侧，且与连接风管相连；吹扫喷管设于输送管一端，输送管的另一端连接氨化热解装置；旋风分离器内的PCS粉体颗粒在吹扫喷管喷出的氮气和氨气混合气体的作用下形成气-固混合流体化状态，通过输送管进入氨化热解装置；氨化热解装置底部设有气体输入口，气体分配板设在氨化热解装置3下部，用于将气体预热器输送来的气体均匀地分布到氨化热解装置内的反应区域；三段加热装置为一体装置，包括三个加热段，三个加热段之间通过两块带有孔洞的分离隔板进行分隔；高温旋风分离器设在氨化热解装置顶部，与尾气冷却过滤器相连；高温旋风分离器用于将反应后的氮化硅粉体与尾气分离；氨化热解装置下方设有粉体下降管和粉体收集罐，粉体下降管与粉体收集罐相连，粉体下降管位于三段加热装置的上部，经过三个加热段形成的结晶氮化硅粉体从粉体下降管顶部落下收集在粉体收集罐中。
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百度查询： 厦门大学 利用高分子量固态聚碳硅烷制备高导热氮化硅纳米粉体的装置及方法
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