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摘要：一种氟离子清洁系统100，该氟离子清洁系统包括：干馏炉102，该干馏炉用于经由供应到该干馏炉的工作流体来清洁至少一个部件106；干馏后子系统140，该干馏后子系统用于处理在第一温度下离开该干馏炉的干馏后流体流；以及洗涤器134，该洗涤器位于该干馏后子系统的下游。该干馏后子系统140包括与该干馏炉102流体连通的分离器142。该分离器142包括用于接收来自该干馏炉102的该干馏后流体流的入口146和用于离开该分离器的该干馏后流体流的出口148。该干馏后子系统140还包括冷却装置144，该冷却装置用于将该干馏后流体流选择性地冷却至第二温度，该第二温度低于该第一温度。该第二温度使得微粒能够在该分离器142内从该干馏后流体流中分离。
主权项：1.一种氟离子清洁系统100，所述氟离子清洁系统包括：干馏炉102，所述干馏炉用于经由供应到所述干馏炉的工作流体来清洁至少一个部件106；干馏后子系统140，所述干馏后子系统用于处理在第一温度下离开所述干馏炉102的干馏后流体流，所述干馏后子系统包括：分离器142，所述分离器与所述干馏炉102流体连通，所述分离器包括用于接收来自所述干馏炉的所述干馏后流体流的入口146和用于离开所述分离器的所述干馏后流体流的出口148；和冷却装置144，所述冷却装置用于将所述干馏后流体流选择性地冷却至第二温度，所述第二温度低于所述第一温度，其中所述第二温度使得微粒能够在所述分离器142内从所述干馏后流体流中分离；以及洗涤器134，所述洗涤器位于所述干馏后子系统140下游，所述洗涤器用于接收从所述分离器142中排出的所述干馏后流体流。
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百度查询： 通用电气技术有限公司 包括干馏后流体流处理的氟离子清洁系统和方法
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