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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：本文公开的实施方式包括模型化快速热处理RTP工具的方法。在一实施方式中，所述方法包括以下步骤：开发RTP工具的灯模型，其中所述灯模型包括多个灯区；计算针对所述多个灯区的辐照度图表；将所述辐照度图表中的所述多个灯区的辐照度值乘上工艺配方期间在给定时间处的存在的RTP工具的功率；将针对所述多个灯区的乘后的所述辐照度值加起来以形成所述灯模型的辐照图表；使用所述辐照图表以作为对机器学习算法的输入；及从所述机器学习算法输出跨假想基板的温度。
主权项：1.一种模型化快速热处理RTP工具的方法，包括以下步骤：开发RTP工具的灯模型，其中所述灯模型包括多个灯区；计算针对所述多个灯区的辐照度图表；将所述辐照度图表中的所述多个灯区的辐照度值乘上工艺配方期间在给定时间处的存在的RTP工具的功率；将针对所述多个灯区的乘后的辐照度值加起来以形成所述灯模型的辐照图表；使用所述辐照图表作为对机器学习算法的输入；及从所述机器学习算法输出跨假想基板的温度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 均匀辐射加热控制架构
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