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申请/专利权人：查目科技股份有限公司
摘要：本发明提供一种能够利用粒子束检查大气中的被处理物的检查装置和一种能够利用粒子束修理大气中的被处理物的修理装置，其中，所述检查装置包括：柱部，所述柱部配置于大气中且内部被控制为真空；开口部，所述开口部形成在柱部；粒子束发射部，所述粒子束发射部设置在柱部的内部；及检测部，所述检测部设置在粒子束发射部与被处理物之间，所述修理装置包括：柱部，所述柱部配置于大气中且内部被控制为真空；开口部，所述开口部形成在柱部；粒子束发射部，所述粒子束发射部设置在柱部的内部；及气体供应部，所述气体供应部能够喷射源气体。
主权项：1.一种能够利用粒子束检查大气中的被处理物的检查装置，包括：柱部，所述柱部与以能够安置被处理物的方式在大气中设置的支撑部相向配置且内部能够被控制为真空；开口部，所述开口部为了使所述粒子束通过而在所述柱部的与被处理物相向的部分形成；粒子束发射部，所述粒子束发射部设置在所述柱部的内部；检测部，所述检测部设置在所述粒子束发射部与被处理物之间，以便能够检测依据电子束的信号；气体供应部，所述气体供应部向所述被处理物喷射用于检查被处理物的氛围气体；及吸入部，所述吸入部能够吸入所述被处理物上的反应物及生成物，所述吸入部包括吸入管，所述吸入管在其末端形成有吸入口，所述吸入口位于所述开口部的周围。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 查目科技股份有限公司 检查装置、修理装置及粒子束装置
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