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卷对卷制备系统及卷对卷制备方法 

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申请/专利权人:电子科技大学

摘要:本发明公开一种卷对卷制备系统,包括:反应室,其至少一部分设置有加热元件;放料辊、收料辊以及至少一个定位辊;和基底材料箔,通过放料辊放出,经定位辊引导,最后由收料辊卷收,其中,放料辊、收料辊以及至少一个定位辊设置在反应室的具有加热元件的部分之外,基底材料箔由放料辊、收料辊以及至少一个定位辊引导,延伸进出反应室的具有加热元件的部分多次。本发明还公开了一种卷对卷制备方法。本发明通过在产物制备过程中使得基底材料箔由设置在反应室的具有加热元件的部分或加热区之外的定位辊引导进出其多次,在有限的制备空间增大制备面积,提高生产效率,同时避免基底材料箔与定位辊由于受热而粘连。

主权项:1.一种用于气相沉积的卷对卷制备系统,包括:反应室,其至少一部分设置有加热元件;一对进气口和出气口,分别设置在反应室的上游侧和下游侧;放料辊、收料辊以及至少一个定位辊;和基底材料箔,通过放料辊放出,经定位辊引导,最后由收料辊卷收,其中,放料辊、收料辊以及至少一个定位辊设置在反应室的具有加热元件的部分之外,基底材料箔由至少一个定位辊引导延伸进出反应室的具有加热元件的部分多次,基底材料箔由放料辊、定位辊和收料辊动态连续引导,经受交替的加热和冷却过程。

全文数据:

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