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申请/专利权人:皇家飞利浦有限公司
摘要:一种超声换能器具有控制电路,所述控制电路具有电路部分的阵列,这些电路部分共同限定电路区。cMUT元件被提供在所述控制电路的顶部。通路提供每个cMUT元件与下方的电路部分中的相应的一个电路部分之间的耦合。通路被定位在cMUT元件之间的空间处并且在相对于电路部分的形状的位置处连接到下方的电路部分。阵列的间距大于电路部分在阵列的至少一个方向上的间距,使得在所述至少一个方向上,cMUT元件延伸超出电路区的一边或两边。这使得平铺更加容易并且实现了模块化设计。
主权项:1.一种超声换能器,包括:控制电路202,其包括集成电路,所述集成电路包括电路部分204的阵列;电容式微机械超声换能器cMUT元件304的阵列,其被提供为覆盖所述控制电路;以及通路205的阵列,其中,至少一个通路提供每个cMUT元件与所述cMUT元件被布置为覆盖到的所述电路部分中的相应的一个电路部分之间的耦合,这些电路部分共同限定电路区,其中,CMUT元件的所述阵列的节距大于所述电路部分在所述阵列的至少一个方向上的节距,使得在所述至少一个方向上,所述cMUT元件在所述至少一个方向上延伸超出所述电路区的一边或两边,其中,所述阵列的所述至少一个方向包括行方向或者行方向与列方向两者。
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权利要求:
百度查询: 皇家飞利浦有限公司 超声换能器和超声换能器的平铺阵列
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