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申请/专利权人：山东力冠微电子装备有限公司
摘要：本发明公开了一种绝缘子及石英舟，其中绝缘子，用于石英舟上电极片间的定位和绝缘，包括：绝缘子本体，具有第一端和与该第一端相对的第二端；第一定位部，在第一端和第二端各有一个，以使第一端与第一端侧电极片间，以及第二端与第二端侧电极片间脱开第一距离；其中，第一定位部外径小于绝缘子本体外径，而由所述第一距离确定出第一狭缝。依据本发明的绝缘子可有效的降低因沉积碳而倒置的绝缘性能下降问题的影响。
主权项：1.一种绝缘子，用于石英舟上电极片间的定位和绝缘，其特征在于，包括：绝缘子本体，具有第一端和与该第一端相对的第二端；第一定位部，在第一端和第二端各有一个，以使第一端与第一端侧电极片间，以及第二端与第二端侧电极片间脱开第一距离；其中，第一定位部外径小于绝缘子本体外径，而由所述第一距离确定出第一狭缝；第一狭缝的深度为第一距离的4~15倍；绝缘子本体具有第一结构，具备该第一结构的绝缘子本体包括一外桶和一内桶，内桶桶底和外桶桶底均开有过孔；以内桶桶口端为导入端嵌入到外桶，并使内桶桶口端与外桶桶底留有第二距离或直接与外桶桶底接合；于径向，内桶外壁与外桶内壁间留有第三距离；内桶桶底外侧面构成第一端端面，外桶桶底外侧面构成第二端端面；第一结构中，提供一套筒或定位组件以用于外桶与内桶间的轴向定位；若为定位组件，该定位组件包括一次级套筒和一第二圆垫片，该第二圆垫片的直径大于次级套筒的直径；在第二圆垫片与外桶底间还有一调整垫片，该调整垫片的直径小于第二圆垫片的直径；第二距离为0.5~2mm。
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百度查询： 山东力冠微电子装备有限公司 绝缘子及石英舟
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