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申请/专利权人：美新半导体(天津)有限公司

摘要：本发明公开了一种解耦式微陀螺，其包括：第一检测质量块；第二检测质量块，其中第一检测质量块和第二检测质量块在柯式力作用下会沿着相反的方向运动；连接于第一检测质量块和第二检测质量块之间的检测质量块解耦梁，其被配置的促使第一检测质量块和第二检测质量块保持相反方向的运动；在第一检测质量块相对于检测质量块解耦梁做远离运动时，所述检测质量块解耦梁在第一检测质量块的牵引下发生弹性形变，进而推动第二检测质量块相对于检测质量块解耦梁做远离运动。本发明所述的解耦式微陀螺实现了检测电容的差分放大，提高了该结构的灵敏度，抑制了微陀螺的机械耦合，提高了微陀螺的检测精度。

主权项：1.一种解耦式微陀螺，其特征在于，其包括：第一检测质量块；第二检测质量块，其中第一检测质量块和第二检测质量块在柯式力作用下会沿着相反的方向运动；连接于第一检测质量块和第二检测质量块之间的检测质量块解耦梁，其被配置的促使第一检测质量块和第二检测质量块保持相反方向的运动，所述检测质量块解耦梁包括与第一检测质量块连接的第一结构部分以及与第二检测质量块连接的第二结构部分，在第一检测质量块相对于检测质量块解耦梁做远离运动时，所述检测质量块解耦梁的第一结构部分在第一检测质量块的牵引下发生弹性形变，所述检测质量块解耦梁的第一结构部分的弹性形变促使所述检测质量块解耦梁的第二结构部分也发生弹性形变，进而使得所述检测质量块解耦梁的第二结构部分推动第二检测质量块相对于检测质量块解耦梁做远离运动，第一检测质量块相对于检测质量块解耦梁做靠近运动时，所述检测质量块解耦梁的第一结构部分在第一检测质量块的挤压下发生弹性形变，所述检测质量块解耦梁的第一结构部分的弹性形变促使所述检测质量块解耦梁的第二结构部分也发生弹性形变，进而使得所述检测质量块解耦梁的第二结构部分拉动第二检测质量块相对于检测质量块解耦梁做靠近运动，所述检测质量块解耦梁的第一结构部分以及所述检测质量块解耦梁的第二结构部分是轴对称的，所述检测质量块解耦梁的第一结构部分的弹性形变与所述检测质量块解耦梁的第一结构部分的弹性形变也是轴对称的，对称轴为第一检测质量块和第二检测质量块的对称轴，所述检测质量块解耦梁包括四个检测质量块解耦弹性梁、四个检测质量块解耦中间连接梁、四个检测质量块解耦支撑梁、第一检测质量块解耦端部连接梁和第二检测质量块解耦端部连接梁，第一检测质量块解耦端部连接梁的一端与第一检测质量块相连，另一端与一个检测质量块解耦弹性梁的中部相连，第二检测质量块解耦端部连接梁的一端与第二检测质量块相连，另一端与另一个检测质量块解耦弹性梁的中部相连，所述检测质量块解耦弹性梁和所述检测质量块解耦中间连接梁依次交替首尾相连，进而使得四个检测质量块解耦弹性梁和四个检测质量块解耦中间连接梁交替首尾相连形成一个闭环，每个检测质量块解耦支撑梁的一端与检测质量块解耦梁锚点相连，另一端与对应的一个检测质量块解耦中间连接梁的中部相连，所述检测质量块解耦梁的位于对称轴的靠近第一检测质量块一侧的部分结构被称为第一结构部分，所述检测质量块解耦梁的位于对称轴的靠近第二检测质量块一侧的部分结构被称为第二结构部分，每个检测质量块解耦弹性梁包括位于中间的U型部和位于两端的两个L型部，检测质量块解耦弹性梁两端的两个L型部关于所述检测质量块解耦弹性梁中间的U型部对称设置，检测质量块解耦弹性梁的端部的L型部的开口方向朝向所述检测质量块解耦梁锚点，所述第一检测质量块解耦端部连接梁与一个所述U型部的底部相连，所述第二检测质量块解耦端部连接梁与另一个所述U型部的底部相连，每个检测质量块解耦中间连接梁为L型结构，每个检测质量块解耦支撑梁的一端与检测质量块解耦梁锚点相连，另一端与所述L型结构的角点相连，以使得四个检测质量块解耦支撑梁于所述闭环内形成对角线，L型结构的检测质量块解耦中间连接梁的开口方向朝向所述检测质量块解耦梁锚点。

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