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申请/专利权人：美新半导体(天津)有限公司

摘要：本发明提供一种三轴陀螺仪，其包括：第一驱动框架，其能够沿X轴进行谐振运动；第二驱动框架，其与第一驱动框架平行且间隔预定距离，其能够沿X轴进行与第一驱动框架反向的谐振运动；耦接于第一驱动框架和第二驱动框架之间的XY陀螺结构；耦接于第一驱动框架和第二驱动框架之间且位于所述XY陀螺结构一侧的Z陀螺结构；其中，所述XY陀螺结构与所述Z陀螺结构相互独立，所述XY陀螺结构和Z陀螺结构均是由所述第一驱动框架和第二驱动框架共同驱动。所述三轴陀螺仪结构整体合理紧凑，集成度高，还可以减小正交误差，提高检测精度。

主权项：1.一种三轴陀螺仪，其特征在于，其包括：第一驱动框架，其能够沿X轴进行谐振运动；第二驱动框架，其与第一驱动框架平行且间隔预定距离，其能够沿X轴进行与第一驱动框架反向的谐振运动；连接于第一驱动框架和第二驱动框架之间的XY陀螺结构；连接于第一驱动框架和第二驱动框架之间且位于所述XY陀螺结构一侧的Z陀螺结构；其中，所述XY陀螺结构与所述Z陀螺结构相互独立，所述XY陀螺结构和Z陀螺结构均是由所述第一驱动框架和第二驱动框架共同驱动，所述XY陀螺结构包括：第一XY驱动耦合梁和第二XY驱动耦合梁；第一质量块、第二质量块、第三质量块和第四质量块，分别设置于所述XY陀螺结构的中心点A的上下左右四个位置，第一质量块与第三质量块和第四质量块相邻设置，第二质量块与第三质量块和第四质量块相邻设置，第一质量块通过第一XY驱动耦合梁与第一驱动框架相连，第二质量块通过第二XY驱动耦合梁与第二驱动框架相连；四个转向梁锚点和四个转向梁，其中每个转向梁与对应的一个转向梁锚点相连，相邻的两个质量块通过对应的一个转向梁相连；其中，在第一驱动框架沿X轴进行谐振运动，第二驱动框架沿X轴进行与第一驱动框架反向的谐振运动时，第一驱动框架通过第一XY驱动耦合梁带动第一质量块沿X轴进行谐振运动，第二驱动框架通过第二XY驱动耦合梁带动第二质量块沿X轴进行与第一质量块反向的谐振运动，第一质量块和第二质量块通过相应的转向梁进而带动第三质量块沿Y轴进行谐振运动，通过相应的转向梁进而带动第四质量块沿Y轴进行与第三质量块反向的谐振运动，X轴和Y轴垂直并且定义了所述XY陀螺结构所在的平面，以平行于第一驱动框架和第二驱动框架的方向为X轴，以垂直于第一驱动框架和第二驱动框架的方向为Y轴，Z轴垂直于X轴和Y轴所定义的平面。

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权利要求：

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