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一种基于质量判定标准的在线膜厚检测方法及系统 

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申请/专利权人:启东市高洋机电制造有限公司

摘要:本发明提供了一种基于质量判定标准的在线膜厚检测方法及系统,涉及膜厚的检测领域,该基于质量判定标准的在线膜厚检测方法包括以下步骤:基于预先设定的薄膜生产标准,设定薄膜生产的质量判定标准;利用激光扫描仪分别对待检测薄膜的上下表面进行三维点云扫描,分别得到上点云数据和下点云数据;对得到的上点云数据和下点云数据分别进行表面轮廓提取,得到上表面轮廓数据和下表面轮廓数据;根据上表面轮廓数据和下表面轮廓数据,分别计算薄膜在不同位置的厚度,并基于质量判定标准对薄膜进行评估。本发明可以对薄膜进行自动评估,减少人为因素的干扰,提高检测结果的客观性和准确性。

主权项:1.一种基于质量判定标准的在线膜厚检测方法,其特征在于,该基于质量判定标准的在线膜厚检测方法包括以下步骤:S1、基于预先设定的薄膜生产标准,设定薄膜生产的质量判定标准;S2、利用激光扫描仪分别对待检测薄膜的上下表面进行三维点云扫描,分别得到上点云数据和下点云数据;S3、对得到的上点云数据和下点云数据分别进行表面轮廓提取,得到上表面轮廓数据和下表面轮廓数据;S4、根据上表面轮廓数据和下表面轮廓数据,分别计算薄膜在不同位置的厚度,并基于质量判定标准对薄膜进行评估;所述对得到的上点云数据和下点云数据分别进行表面轮廓提取,得到上表面轮廓数据和下表面轮廓数据包括以下步骤:S31、分别对上点云数据和下点云数据进行预处理,所述预处理包括滤波和平滑处理;S32、分别对预处理后的上点云数据和下点云数据中的每个数据点进行曲率值计算;S33、根据每个数据点的曲率值,分别确定预处理后的上点云数据和下点云数据的离散程度,并设定曲率阈值;S34、根据设定的曲率阈值,分别从预处理后的上点云数据和下点云数据中提取薄膜边界线;S35、根据预处理后的上点云数据和下点云数据的薄膜边界线,确定上表面轮廓数据和下表面轮廓数据;所述分别对预处理后的上点云数据和下点云数据中的每个数据点进行曲率值计算包括以下步骤:S321、对于预处理后的上点云数据和下点云数据中的每个数据点,计算该数据点到其他所有点的欧式距离,并选取M个距离该数据点最近的邻域点;S322、对于每个数据点及其选取的M个邻域点,通过计算邻域点的协方差矩阵得到该数据点的法向量;S323、分别计算每个数据点法向量与其邻域点的法向量之间的夹角及计算每个数据点与其邻域点之间的位置向量,并确定每个数据点的位置向量与法向量之间的夹角;S324、对于每个数据点,通过法曲率计算公式计算每个数据点相对于其每个邻域点的法曲率;S325、基于欧拉公式,确定法曲率和主曲率之间的函数关系,并通过最小二乘法优化方法求解每个数据点第一主曲率和第二主曲率;S326、将每个数据点第一主曲率和第二主曲率相乘,得到每个数据点的曲率值;所述根据上表面轮廓数据和下表面轮廓数据,分别计算薄膜在不同位置的厚度,并基于质量判定标准对薄膜进行评估包括以下步骤:S41、分别将上表面轮廓数据和下表面轮廓数据在预设的坐标系中进行点云数据对齐;S42、在数据对齐后,对于上表面轮廓数据的每个数据点,找到对应下表面轮廓数据中最近的数据点,计算两个数据点对之间的垂直距离;S43、分别将每个数据点对的垂直距离与标准膜厚进行比较,并基于比较结果评估薄膜的质量。

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