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申请/专利权人：上海广川科技有限公司
摘要：本发明公开了一种尺寸兼容的晶圆缓存装置，包括M个承载支柱，且M个承载支柱均匀间隔分布以围成圆形，承载支柱朝向圆心的一侧沿着承载支柱的延伸方向设置有若干个晶圆支撑块15；M个直线导轨，一一对应位于所述承载支柱的端部，且所述直线导轨的一端位于承载支柱所围成的圆心位置处，另一端朝着圆形边缘延伸；驱动件，带动M个承载支柱沿着对应的直线导轨同步移动。本发明提供的一种尺寸兼容的晶圆缓存装置，通过调整承载支柱之间的距离使得承载支柱上的晶圆支撑块能够缓存不同尺寸的晶圆，本申请结构简单，尺寸调节快捷且精准，提高了不同尺寸晶圆缓存的效率和兼容性。
主权项：1.一种尺寸兼容的晶圆缓存装置，其特征在于，包括：M个承载支柱，且M个承载支柱均匀间隔分布以围成圆形，承载支柱朝向圆心的一侧沿着承载支柱的延伸方向设置有若干个晶圆支撑块15；M为大于1的整数；M个直线导轨，一一对应位于所述承载支柱的端部，且所述直线导轨的一端位于承载支柱所围成的圆心位置处，另一端朝着圆形边缘延伸；驱动件，带动M个承载支柱沿着对应的直线导轨同步移动；所述驱动件包括环绕在所述直线导轨外侧的同步带，所述同步带中设置有固定夹，所述固定夹与对应的承载支柱固定连接；所述同步带的两端分别设置有主动轮和从动轮，且M个主动轮通过同一个电机进行驱动；所述驱动件还包括电机、主动齿轮和M个从动齿轮，所述电机位于承载支柱所围成的圆心位置处，所述电机的输出端连接所述主动齿轮，所述M个从动齿轮均匀分布在所述主动齿轮的边缘，且与所述主动齿轮啮合；M个从动齿轮与M个主动轮一一对应套接；当电机运行时，主动齿轮正转或者反转，带动M个从动齿轮正转或者反转，从动齿轮转动的时候带动主动轮同步转动，进而带动同步带旋转。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海广川科技有限公司 一种尺寸兼容的晶圆缓存装置
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