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申请/专利权人：库卡机器人制造(上海)有限公司
摘要：本发明提供了一种缓存平台、晶圆周转装置及其周转方法。其中，缓存平台包括用于装载晶圆盒的装载台和用于临时放置晶圆架的中转台。装载台上具有用于装载晶圆盒的至少一开盖位和多个装载位。开盖位的上方空间足以使得晶圆盒的盖子能够翻转以开合。中转台与开盖位错开布置，因而晶圆盒和晶圆架的放置、搬运均不会产生干涉。晶圆周转装置中的控制器通过控制机械手，自动化地实现了对于晶圆盒和晶圆架的搬运和周转。机械手能够在开盖位上代替人工实现开盖，中转台能够为机械手在缓存平台和工艺设备之间提供缓存空间，减少机械手的往返次数，提高晶圆的搬运效率。
主权项：1.一种缓存平台，其特征在于，包括：装载台，其具有至少一开盖位和多个间隔的装载位，所述装载位和所述开盖位均具有能够定位固定晶圆盒的定位结构，所述开盖位位于所述装载台的上端面，所述开盖位的上方空间足以使得所述晶圆盒的盖子能够翻转开合；支撑结构，其设于所述装载台上，并向上超出所述装载台；中转台，其用于临时放置晶圆架，所述中转台被所述支撑结构支撑以悬设于所述装载台上方，所述中转台与所述开盖位错位布置，所述中转台投射于所述装载台上的投影与所述开盖位具有间距；在位感应器，其分别设置在所述开盖位和各所述装载位上；凸柱，其对应设置于所述开盖位上，并向上突出于所述装载台的上端面；开盖感应器，其设于所述凸柱的上端。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 库卡机器人制造(上海)有限公司 缓存平台、晶圆周转装置及其周转方法
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