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申请/专利权人：北京中科科仪股份有限公司
摘要：本发明公开了一种分子泵配重结构、分子泵及跑脂平台系统，其涉及分子泵制造技术领域。该配重结构包括配重主体和多个平衡件；配重主体适于套设固定在泵体的主轴上，配重主体设有多个安装孔；多个平衡件一对一地且可拆卸地安装于多个安装孔中。本发明提出了一种配重结构，保证了仪器用分子泵实现正常启停过程，满足了仪器用分子泵超高速运行范围的技术需求，保证了系统高速运行稳定性，有效解决了仪器用分子泵的超高速直流无刷电机因转动惯量过小导致的开环启动失败、无法进入闭环的问题。此外，本发明的配重结构转动惯量几乎小，方便安装，可反复拆装使用。
主权项：1.一种跑脂平台系统，其特征在于，包括上位机、供电电源、跑脂驱动模块、分子泵和机械泵，所述跑脂驱动模块的受控端与所述上位机连接，所述跑脂驱动模块的供电端与所述供电电源连接，所述跑脂驱动模块的输出端与所述分子泵连接，所述分子泵与所述机械泵连接；所述分子泵包括泵体、设于所述泵体上的主轴以及套设在所述主轴上的配重结构，所述配重结构包括：配重主体，适于套设固定在泵体的主轴上，所述配重主体设有多个安装孔；以及多个平衡件，多个所述平衡件一对一地且可拆卸地安装于多个所述安装孔中。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京中科科仪股份有限公司 一种配重结构、分子泵及跑脂平台系统
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