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申请/专利权人：珠海富山爱旭太阳能科技有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司;浙江爱旭太阳能科技有限公司;深圳爱旭数字能源技术有限公司
摘要：本实用新型适用于镀膜设备技术领域，提供一种镀膜腔室破真空装置及镀膜设备，镀膜腔室破真空装置包括：供气组件，包括进气管、及设于进气管上并用于开闭进气管的进气阀；与镀膜腔室相适配的分流组件，包括：顶板；分别设于顶板相对两侧的两个侧板，每个侧板沿其长度方向阵列设置有若干个出气嘴；设于顶板上的多个出气管；及与顶板相固定且具有多个匀气孔的匀气板，匀气板覆盖多个出气管的出气口；与进气管连接的分流管，每个出气嘴及每个出气管分别与分流管连通。本实用新型的镀膜腔室破真空装置可以使镀膜腔室破真空时输入的气体分布更加均匀，可以降低硅片碎裂率，提升硅片生产良率。
主权项：1.一种镀膜腔室破真空装置，其特征在于，包括：供气组件，包括进气管、及设于所述进气管上并用于开闭所述进气管的进气阀；与镀膜腔室相适配的分流组件，包括：顶板；分别设于所述顶板相对两侧的两个侧板，每个所述侧板沿其长度方向阵列设置有若干个出气嘴；设于所述顶板上的多个出气管；与所述顶板相固定且具有多个匀气孔的匀气板，所述匀气板覆盖多个所述出气管的出气口；及与所述进气管连接的分流管，每个所述出气嘴及每个所述出气管分别与所述分流管连通。
全文数据：
权利要求：
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