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申请/专利权人：新疆大全新能源股份有限公司;内蒙古大全新能源有限公司
摘要：本实用新型公开了一种适用CVD还原炉视镜清理的装置，涉及多晶硅生产技术领域，主要目的是保持还原炉视镜干净、无硅粉附着。本实用新型的主要技术方案为：适用CVD还原炉视镜清理的装置，该装置包括：视镜、除粉机构和环形喷嘴；所述视镜通过第一压盖组件挤紧于还原炉观察口外端面；所述除粉机构包括中心轴和刮刀轮组，所述中心轴的一端固定连接于所述视镜的中心，所述刮刀轮组包括中心轮和圆周排布于所述中心轮周缘的多个刮刀，所述中心轮转动连接于所述中心轴的另一端，多个所述刮刀接触于所述视镜的内表面；所述环形喷嘴设置于还原炉观察口的内缘，所述环形喷嘴的喷气方向朝向所述刮刀，用于驱动所述刮刀旋转。
主权项：1.一种适用CVD还原炉视镜清理的装置，其特征在于，包括：视镜，所述视镜通过第一压盖组件挤紧于还原炉观察口外端面；除粉机构，所述除粉机构包括中心轴和刮刀轮组，所述中心轴的一端固定连接于所述视镜的中心，所述刮刀轮组包括中心轮和圆周排布于所述中心轮周缘的多个刮刀，所述中心轮转动连接于所述中心轴的另一端，多个所述刮刀接触于所述视镜的内表面；环形喷嘴，所述环形喷嘴设置于还原炉观察口的内缘，所述环形喷嘴的喷气方向朝向所述刮刀，用于驱动所述刮刀旋转。
全文数据：
权利要求：
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