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申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要：本实用新型涉及靶材烧结领域，公开了一种圆筒状靶材烧结装置，包括炉体、固定架；所述炉体设有加热模块；所述固定架放置于炉体内；所述固定架为由多条隔条交错组成的三维网格结构；所述隔条把固定架分隔为多个用于放置靶材的容纳腔；所述固定架的外周设有可拆卸的密封块；所述密封块用于填充固定架的外周空隙以隔开加热模块与靶材。本烧结装置能够减少靶材出现翘曲变形、开裂等不良情况，提高靶材良率。
主权项：1.一种圆筒状靶材烧结装置，其特征在于，包括炉体、固定架；所述炉体设有加热模块；所述固定架放置于炉体内；所述固定架为由多条隔条交错组成的三维网格结构；所述隔条把固定架分隔为多个用于放置靶材的容纳腔；所述固定架的外周设有可拆卸的密封块；所述密封块用于填充固定架的外周空隙以隔开加热模块与靶材。
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权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种圆筒状靶材烧结装置
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