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申请/专利权人：苏州诚拓智能装备有限公司
摘要：本实用新型公开了一种石英舟立式翻转移载机构，其包括第一电机、受第一电机驱动进行水平运动的第一支撑板、转动设置在第一支撑板上的转轴、驱动转轴转动的第二电机以及固定在转轴上的翻转支架；翻转支架包括呈L形设置的第二支撑板与第三支撑板，第二支撑板上设置有承载卧式石英舟的若干支撑垫块、定位石英舟内各硅片的限位梳齿杆以及将石英舟朝第三支撑板方向压紧的顶部压紧模组；第三支撑板上设置有承载立式石英舟的第四支撑板，第四支撑板上设置有对立式石英舟底板前后表面进行限位的若干限位挡板以及将石英舟朝第二支撑板方向压紧的左侧压紧模组。本实用新型能够有效保障石英舟翻转过程中的安全，提高翻转操作安全性和舟定位精准度。
主权项：1.一种石英舟立式翻转移载机构，其特征在于：其包括第一电机、受所述第一电机驱动进行水平运动的第一支撑板、转动设置在所述第一支撑板上的转轴、固定在所述第一支撑板上且驱动所述转轴转动的第二电机以及固定在所述转轴上的翻转支架；所述翻转支架包括呈L形设置的第二支撑板与第三支撑板，所述第二支撑板上设置有承载卧式石英舟的若干支撑垫块、支撑并定位石英舟内各硅片的一对限位梳齿杆以及将石英舟朝所述第三支撑板方向压紧的顶部压紧模组；所述第三支撑板上设置有承载立式石英舟的第四支撑板，所述第四支撑板上设置有对立式石英舟底板前后表面进行限位的若干限位挡板以及将石英舟朝所述第二支撑板方向压紧的左侧压紧模组。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州诚拓智能装备有限公司 一种石英舟立式翻转移载机构
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