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申请/专利权人：国鲸合创(青岛)科技有限公司;国鲸科技(广东横琴粤澳深度合作区)有限公司
摘要：本发明涉及柔性发光材料蒸镀技术领域，尤其涉及一种向下蒸发的蒸发舟，包括液态物料盛装皿、第一加热部、第二加热部、第一均温部、第二均温部、多个气流引导管和承载台；第一均温部保障了面积较大的液态物料盛装皿的底面各部位能够均匀受热，使得液态物料盛装皿上方各区域的蒸汽密度相同，进而有利于在柔性基板的顶面形成厚度均一的蒸镀膜。第二均温部迫使气态物料流入气流引导管内，并使液态物料盛装皿的顶面上方各区域温度分布均匀。整体上，实现了向下蒸镀的方式，借助承载台，使得面积较大的柔性基板的各部位在竖直方向上的高度一致，有利于在柔性基板的顶面上形成厚度较为均一的蒸镀膜，改善镀膜质量。
主权项：1.一种向下蒸发的蒸发舟，其特征在于，包括：液态物料盛装皿，用于盛装液态物料，顶部形成有入料口；第一加热部，安装于所述液态物料盛装皿的底部，能够发热，以加热所述液态物料蒸发皿；第二加热部，安装于所述液态物料盛装皿的顶部，能够发热；第一均温部，安装于所述液态物料盛装皿的底面与所述第一加热部的顶面之间；第二均温部，安装于所述液态物料盛装皿的顶面与所述第二加热部的底面之间；气流引导管，为多个，分别贯穿所述第一加热部、所述第一均温部和所述液态物料盛装皿的底部后穿入所述液态物料盛装皿内；承载台，设置于多个所述气流引导管的下方，顶面用于承载柔性基板；通过多个所述气流引导管能够向下释放气态物料，以在所述柔性基板的顶面形成蒸镀膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 国鲸合创(青岛)科技有限公司 国鲸科技(广东横琴粤澳深度合作区)有限公司 向下蒸发的蒸发舟
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