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申请/专利权人：无锡鼎桥新能源科技有限公司

摘要：本发明公开了一种垂直液相外延石墨舟及采用其实现外延的方法，涉及薄膜材料的液相外延生长的技术领域，包括石英套管，石英套管的底端安装设置环形滑槽轨，石英套管的外部安装设置转动调节组件，环形滑槽轨的内部滑动连接有两组底支撑滑块，通过在转动调节组件、导热片板和高精度温度传感器配合下，形成动态均匀的能量输入加热，保障垂直液相外延等晶体生长技术中获得高质量的材料，从而有效避免因局部温度过高或过低导致的结晶缺陷，显著提升了垂直液相外延过程中材料生长的质量，特别是在大面积或多层结构的生长中，能够有效抑制边缘效应，减少中心与边缘的温差，从而获得无缺陷或缺陷极少的高质量晶体材料。

主权项：1.一种垂直液相外延石墨舟，其特征在于：包括石英套管1，所述石英套管1的底端安装设置环形滑槽轨2，所述石英套管1的外部安装设置转动调节组件3，所述环形滑槽轨2的内部滑动连接有两组底支撑滑块9，两组所述底支撑滑块9的顶部均安装设置竖向线轨11，两组所述底支撑滑块9的内部均架设安装设置伺服转动电机10，所述伺服转动电机10带动竖向线轨11内部的丝杆形成转动设置，所述竖向线轨11内部通过丝杆滑动连接有滑动连接块15，所述滑动连接块15的顶部安装设置等离子控制器17，所述滑动连接块15的侧端安装设置等离子体加热端16；所述转动调节组件3包括加强连接杆31，所述加强连接杆31的侧端紧固连接有连接边侧架32，所述连接边侧架32的底部紧固连接有安装开槽架33，所述安装开槽架33的内部通过轴柱转动连接有主动齿轮34，所述加强连接杆31的内侧表面紧固连接有电机箍杆35，所述电机箍杆35的内部安装设置驱动控制电机36，所述驱动控制电机36的底部输出端和主动齿轮34连接设置，所述主动齿轮34的侧端啮合连接有外齿环37，所述外齿环37的顶部转动连接有环形轨道架38，所述环形轨道架38的顶壁通过连接固定杆和加强连接杆31紧固连接，所述环形轨道架38的内侧环壁表面开设有辅助连接插槽390，所述辅助连接插槽390的内侧紧固连接有连接L杆391，所述连接L杆391的底部紧固连接有角度位置指标盘39，所述角度位置指标盘39的底部通过连接柱和竖向线轨11的顶壁表面紧固连接，所述角度位置指标盘39和外齿环37的内侧角度标形成非接触设置。

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