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一种石英舟开槽装置 

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申请/专利权人:沈阳佳泽半导体材料有限公司

摘要:本实用新型公开了一种石英舟开槽装置,包括工作台,所述工作台上方通过驱动组件安装有一对夹持架,一对所述夹持架相对的侧壁上设有若干组夹持组件,所述工作台上壁一侧设有电动滑轨,所述电动滑轨上设有电动滑台,所述电动滑台上壁设有支板,所述支板上设有竖槽,所述竖槽内滑动设有滑架,本实用新型涉及石英舟加工技术领域,本装置结构紧凑,通过在夹持架内设置多组夹持组件,可同时固定多个石英舟工件,配合与其数量相对应的开槽刀,可一次性实现多个工件的开槽加工,有效提高生产效率,开槽刀可通过定位组件调节其在转轴上的位置,从而满足不同加工需求,给人们的使用带来了方便。

主权项:1.一种石英舟开槽装置,包括工作台1,其特征在于,所述工作台1上方通过驱动组件安装有一对夹持架2,一对所述夹持架2相对的侧壁上设有若干组夹持组件,所述工作台1上壁一侧设有电动滑轨3,所述电动滑轨3上设有电动滑台4,所述电动滑台4上壁设有支板5,所述支板5上设有竖槽6,所述竖槽6内滑动设有滑架7,所述支板5上方设有第一电推杆8,所述第一电推杆8伸缩端与所述滑架7连接,所述滑架7侧壁固定设有横板9,所述横板9下壁设有导轨10,所述导轨10上设有导向块11,所述横板9下壁设有第二电推杆12,所述第二电推杆12伸缩端与所述导向块11连接,所述导向块11下壁固定设有安装架13,所述安装架13下壁设有第一电机14以及轴座,所述第一电机14驱动端安装有与所述轴座连接的转轴15,所述转轴15上滑动套装有与所述夹持组件数量相匹配的开槽刀16,所述开槽刀16与所述转轴15之间通过定位组件连接。

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