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申请/专利权人：BCnC股份有限公司
摘要：本发明涉及作为在半导体制造工艺中使用的聚焦环或边缘环陶瓷构件用来支撑和安置晶圆的用途的合成石英的制造方法，且提供一种通过使时间和量损失最小化且显着增加合成石英生产速度来在产率提高方面有积极效果的圆柱型合成石英制造方法。
主权项：1.一种合成石英的制造方法，其特征在于，包括：沉积步骤，通过沿着棒状沉积部件的外面以预定厚度沉积氧化硅微粒粉末来形成母材；安置步骤，将上述母材从上述沉积部件分离并安置在模具上；烧结步骤，通过热处理对上述母材进行烧结，形成锭；及脱模步骤，分离上述锭，其中，用于上述烧结步骤和脱模步骤中的由碳材料制成的上述模具的外壁形成为双重，上述模具和上述模具的型芯的内径越朝向脱模的方向越大，以使上述锭容易脱模，上述型芯设置成与上述母材成一体或可从上述母材分离，上述模具的外壁具有被斜线切割而分开的形状，且分开的模具的外壁彼此隔开预定间隔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： BCnC股份有限公司 合成石英的制造方法
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