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申请/专利权人：广东天域半导体股份有限公司
摘要：本实用新型公开一种石英钟罩保护装置，其包括防护部，所述防护部的形状与所述石英钟罩的至少一部分内壁相对应，所述防护部装设于所述石英钟罩内并贴合于所述石英钟罩的内壁，所述防护部覆盖所述石英钟罩的内壁的至少一部分，通过所述防护部来防止拆装反应室配件时磕碰到石英钟罩，有效降低石英钟罩破裂的风险，进而有效降低了维护成本，提高维护质量，还提高反应室拆装配件的效率。
主权项：1.一种石英钟罩保护装置，其特征在于，包括：防护部，所述防护部的形状与所述石英钟罩的至少一部分内壁相对应，所述防护部装设于所述石英钟罩内并贴合于所述石英钟罩的内壁，所述防护部覆盖所述石英钟罩的内壁的至少一部分。
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权利要求：
百度查询： 广东天域半导体股份有限公司 石英钟罩保护装置
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