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申请/专利权人：锦州海普新材料有限公司

摘要：本发明涉及石英片检测技术领域，尤其涉及一种石英片的质量评估系统，包括：信息获取模块、裂纹检测模块、深度检测模块、检测分析模块以及质量分析模块；信息获取模块用以获取目标性能信息和取样，裂纹检测模块检测石英片表面裂纹并记录检测结果，深度检测模块则测量样品厚度并检测表面裂纹在压力下的扩展情况，检测分析模块根据浸染检测结果来确定裂纹分布的表征参数，并据此评估石英片的异常倾向类，质量分析模块根据异常倾向类别选择适宜的分析方式判断石英片的质量是否合格；本发明根据不同石英片的裂纹倾向快速确定合适的检测方法，确保了石英片的质量符合应用要求，同时优化了检测流程。

主权项：1.一种石英片的质量评估系统，其特征在于，包括：信息获取模块，包括用以获取石英片的目标性能信息的信息采集单元，以及对待检测的石英片进行取样的评估取样单元；裂纹检测模块，其与所述信息获取模块相连，包括提供浸染测试环境的环境单元，以及对石英片样品进行浸染检测，并记录浸染检测结果的浸染检测单元；深度检测模块，其与所述信息获取模块相连，包括用以检测石英片样品厚度的厚度检测单元，用以对石英片样品表面进行加压并检测扩展裂纹的加压检测单元；检测分析模块，其分别与所述裂纹检测模块和所述信息获取模块相连，用以根据所述浸染检测结果确定所述石英片样品的裂纹分布表征参量，并根据裂纹分布表征参量确定所述待检测的石英片的异常倾向类别；质量分析模块，其分别与所述信息获取模块、所述检测分析模块以及深度检测模块相连，用以根据所述待检测的石英片的异常倾向类别确定待检测石英片的质量分析方式，包括，获取厚度检测单元的检测结果，根据厚度检测单元检测结果确定厚度均匀表征参量，判断所述石英片样品是否合格；或，信息获取模块增加取样数量，获取所述加压检测单元的检测结果，根据加压检测单元的检测结果计算残次率，确定不符合使用要求的石英片数量；所述检测分析模块根据所述裂纹分布表征参量确定所述待检测的石英片的异常倾向类别，包括，若所述裂纹分布表征参量小于标准裂纹分布表征参量，检测分析模块确定待检测的石英片的异常倾向类别为隐性异常倾向类别；若所述裂纹分布表征参量大于或等于标准裂纹分布表征参量，检测分析模块确定待检测的石英片的异常倾向类别为显性异常倾向类别；所述质量分析模块根据所述待检测的石英片的异常倾向类别确定待检测石英片的质量分析方式，包括，若所述异常倾向类别为隐性异常倾向类别，则质量分析模块确定的质量分析方式为获取厚度检测单元的检测结果，根据厚度检测单元检测结果确定厚度均匀表征参量，判断所述石英片样品是否合格；若所述异常倾向类别为显性异常倾向类别，则质量分析模块确定的质量分析方式为信息获取模块增加取样数量，获取所述加压检测单元的检测结果，根据加压检测单元的检测结果计算残次率，确定不符合使用要求的石英片数量。

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