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申请/专利权人：西安航天时代精密机电有限公司
摘要：本发明涉及石英摆片加工领域，为解决现有石英摆片清洗方法无法保证石英摆片的质量稳定性等问题，而提出一种用于提高石英摆片可靠性的加工方法，包括以下步骤：先对刻蚀后的石英摆片进行去胶处理；再加热超声波清洗剂槽和热水槽；将石英摆片先放入超声波清洗剂槽内进行超声波清洗，再放入热水槽中进行清洗，然后依次放入多道去离子水中进行清洗；将清洗后的石英摆片放入慢拉烘烤设备中进行烘干处理；将烘干处理后的石英摆片放入真空干燥箱中进行第一次时效处理；将通过第一次时效处理后的石英摆片放入真空蒸镀机中进行真空蒸镀处理；然后将石英摆片再次放入真空干燥箱中进行第二次时效处理，从而完成对石英摆片的清洗。
主权项：1.一种用于提高石英摆片可靠性的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、根据设计要求对石英摆片进行多次刻蚀，每完成一次刻蚀后均通过下述步骤S2-S7对刻蚀后的石英摆片进行清洗处理；S2、通过泡胶剂对刻蚀后的石英摆片进行去胶处理；S3、对超声波清洗机中的超声波清洗剂槽和热水槽进行加热；S4、将去胶后的石英摆片通过清洗工装进行固定，然后放入超声波清洗机中的超声波清洗剂槽内进行清洗剂超声波清洗；S5、将通过清洗剂超声波清洗后的石英摆片放入超声波清洗机中的热水槽内进行超声波热水清洗；S6、将通过超声波热水清洗后的石英摆片依次放入多道去离子水中进行清洗，直至石英摆片表面呈现均匀分布的水膜状后进行步骤S7；S7、将去离子水清洗后的石英摆片放入慢拉烘烤设备中进行烘干处理；S8、将经多次刻蚀和清洗处理后成型的石英摆片放入真空干燥箱中进行第一次时效处理；S9、将第一次时效处理后的石英摆片按照步骤S3-S7再次进行清洗处理，然后将清洗处理后的石英摆片放入真空蒸镀机中进行真空蒸镀；S10、将通过真空蒸镀后的石英摆片再次放入真空干燥箱中进行第二次时效处理，从而完成石英摆片的加工。
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百度查询： 西安航天时代精密机电有限公司 一种用于提高石英摆片可靠性的加工方法
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