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申请/专利权人：朗美通经营有限责任公司
摘要：发射器可以包括基板、至少在沟槽的底表面上的导电层、以及在基板的外延侧上提供发射器的第一电接触部的第一金属层。第一金属层可以在沟槽内，使得第一金属层接触部沟槽内的导电层。发射器还可以包括第二金属层，以在基板的外延侧上提供发射器的第二电接触部，以及绝缘注入物，以阻挡第一电接触部和第二电接触部之间的横向电流流动。
主权项：1.一种发射器阵列，包括：基板；多个发射器，位于所述基板的外延侧上，所述多个发射器包括位于所述发射器阵列的列中的第一发射器和第二发射器；第一金属层，用于在所述基板的所述外延侧中提供所述第一发射器的第一下部电极；第二金属层，用于在所述基板的所述外延侧中提供所述第二发射器的第二下部电极；绝缘沟槽，位于所述基板的所述外延侧中，所述绝缘沟槽将所述第一发射器和所述第二发射器分离；绝缘注入物，位于所述基板中穿过所述绝缘沟槽的底部，所述绝缘注入物被配置为使所述第一下部电极与所述第二下部电极电绝缘；以及第三金属层，用于在所述基板的所述外延侧上提供上部电极，其中所述上部电极在所述第一发射器和所述第二发射器之间共享，并且其中所述第一发射器和所述第二发射器之间的中心到中心距离小于大约90微米。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗美通经营有限责任公司 具有密集外延侧接触部的VCSEL
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