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申请/专利权人：重庆康佳光电科技有限公司
摘要：本申请公开一种外延键合良率检测机构，其包括：检测结构，所述检测结构用于对键合结构进行良率检测，所述键合结构包括外延以及承接衬底，所述外延键合于所述承接衬底；衬底去除结构，所述衬底去除结构用于通过去衬底用溶液浸泡所述键合结构，以去除所述外延中包含的生长衬底；蓝膜测试结构，所述蓝膜测试结构用于对所述键合结构去除生长衬底后裸露的一面进行贴膜及撕膜测试；移动结构，所述移动结构用于移动键合结构，以在所述检测结构、所述衬底去除结构以及所述蓝膜测试结构中交替进行作业，以通过所述检测机构对每个操作流程后的所述键合结构进行良率检测，提升外延键合良率。
主权项：1.一种外延键合良率检测机构，其特征在于，其包括：检测结构，所述检测结构用于对键合结构进行良率检测，所述键合结构包括外延以及承接衬底，所述外延键合于所述承接衬底；衬底去除结构，所述衬底去除结构用于通过去衬底用溶液浸泡所述键合结构，以去除所述外延中包含的生长衬底；蓝膜测试结构，所述蓝膜测试结构用于对所述键合结构去除所述生长衬底后裸露的一面进行贴膜及撕膜测试；移动结构，所述移动结构用于移动所述键合结构，以在所述检测结构、所述衬底去除结构以及所述蓝膜测试结构中交替进行作业。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 重庆康佳光电科技有限公司 一种外延键合良率检测机构
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