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申请/专利权人：深圳金美新材料科技有限公司
摘要：本实用新型涉及一种用于蒸发镀膜的蒸发源引导机构和蒸发镀膜装置，包括：两个平行设置的支撑板，两个支撑板分别与第一蒸发源和第二蒸发源连接；伺服电动缸，连接并控制一升降杆，升降杆同时连接两个支撑板，以带动两个蒸发源上下同步移动；每个蒸发源上方设有一个修正机构，修正机构包括双头螺杆、两个遮挡板和电机，两个遮挡板对称安装在双头螺杆的两端，电机配置连接在双头螺杆的端部，以驱动旋转的双头螺杆带动两端的遮挡板相互靠近或远离；蒸发源引导机构通过调节蒸发源到基材的间距，以调节基材表面的蒸镀均匀度以及厚度；蒸发源引导机构通过调节在基材幅宽方向上两侧的遮挡范围，以控制蒸镀材料在目标区域进行涂镀。
主权项：1.一种用于蒸发镀膜的蒸发源引导机构，其特征在于，包括：两个平行设置的支撑板，两个所述支撑板分别与第一蒸发源和第二蒸发源连接；伺服电动缸，连接并控制一升降杆，所述升降杆同时连接两个所述支撑板，以带动两个蒸发源上下同步移动；每个所述蒸发源上方设有一个修正机构，所述修正机构包括双头螺杆、两个遮挡板和电机，两个所述遮挡板对称安装在所述双头螺杆的两端，所述电机配置连接在所述双头螺杆的端部，以驱动旋转的所述双头螺杆带动两端的所述遮挡板相互靠近或远离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳金美新材料科技有限公司 一种用于蒸发镀膜的蒸发源引导机构和蒸发镀膜装置
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