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申请/专利权人：深圳市银度节能科技有限公司
摘要：本实用新型涉及玻璃镀膜领域，具体涉及一种镀膜均匀的磁控溅射设备。本实用新型提供一种镀膜均匀的磁控溅射设备，包括供溅射靶材装入的靶材安装部，包括驱动装置，驱动装置可驱动靶材安装部摆动使得安装在其上的溅射靶材分时正对曲面玻璃待溅射表面上的各处。该磁控溅射设备能够较好地对曲面玻璃表面进行均匀镀膜，使玻璃镀膜后膜层各处厚度较为均匀。
主权项：1.镀膜均匀的磁控溅射设备，包括供溅射靶材装入的靶材安装部，其特征是，包括驱动装置，驱动装置可驱动靶材安装部摆动使得安装在其上的溅射靶材分时正对曲面玻璃待溅射表面上的各处，具体地，所述驱动装置包括驱动杆，驱动杆驱动靶材安装部背面的受驱区域相对靶材安装部背面其它区域作正背方向的运动，使靶材安装部实现摆动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市银度节能科技有限公司 镀膜均匀的磁控溅射设备
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