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申请/专利权人：深圳金美新材料科技有限公司
摘要：本实用新型提供了一种用于蒸发源顶面的保温结构及蒸发源，所述用于蒸发源顶面的保温结构包括包覆层和保温层，所述包覆层覆盖在所述保温层的表面；所述保温层上设有若干开孔，所述开孔的孔径大于或等于所述蒸发皿的口径；所述保温层内部设有支撑层，所述支撑层设在若干所述开孔之间；所述开孔的断面处设有断面保护装置，所述断面保护装置包裹在所述开孔的断面处。本实用新型解决了如何保证蒸发源顶面的保温性能，并且避免金属蒸汽对保温层及切口断面产生侵蚀，提高了保温层的保温性能和使用寿命。
主权项：1.一种用于蒸发源顶面的保温结构，蒸发源置于蒸发皿1上，其特征在于，包括包覆层2和保温层3，所述包覆层2覆盖在所述保温层3的表面；所述保温层3上设有若干开孔31，所述开孔31的孔径大于或等于所述蒸发皿1的口径；所述保温层3内部设有支撑层4，所述支撑层4设在若干所述开孔31之间；所述开孔31的断面处设有断面保护装置32，所述断面保护装置32包裹在所述开孔31的断面处。
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