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申请/专利权人：中国电子科技集团公司第五十八研究所
摘要：本发明公开了一种高效制备高精度孔径尺寸玻璃通孔的方法，将激光改性后的玻璃晶圆浸没在酸性腐蚀液中，加超声并搅拌循环第一时间，在第一温度下腐蚀改性区域成为玻璃通孔；在第二温度下超声清洗，取出烘干，测量玻璃通孔孔径，获得玻璃通孔孔径测量值1；将玻璃晶圆浸没在碱性腐蚀液中，加超声并搅拌循环第二时间，在第三温度下腐蚀玻璃通孔，使玻璃通孔直径尺寸增加到目标值；在第二温度下超声清洗第二预设时间后，取出烘干，完成玻璃通孔制备。本发明通过利用酸性刻蚀液高刻蚀速率和碱性刻蚀液低刻蚀速率的特性，根据需要灵活选择，在保证玻璃通孔孔径高精度尺寸的前提下，大大提高制备的效率。
主权项：1.一种高效制备高精度孔径尺寸玻璃通孔的方法，其特征在于，包括：步骤一，将激光改性后的玻璃晶圆浸没在酸性腐蚀液中，加超声并搅拌循环第一时间，在第一温度下腐蚀改性区域成为玻璃通孔；步骤二，在第二温度下超声清洗，取出烘干，测量玻璃通孔孔径，获得玻璃通孔孔径测量值1；步骤三，将玻璃晶圆浸没在碱性腐蚀液中，加超声并搅拌循环第二时间，在第三温度下腐蚀玻璃通孔，使玻璃通孔直径尺寸增加到目标值；步骤四，在第二温度下超声清洗第二预设时间后，取出烘干，完成玻璃通孔制备。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国电子科技集团公司第五十八研究所 一种高效制备高精度孔径尺寸玻璃通孔的方法
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