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申请/专利权人：栗田工业株式会社
摘要：排气处理设备具有：燃烧室1，对排水进行燃烧处理；喷嘴，使水沿着所述燃烧室1的内壁面流动；供水管线，对所述喷嘴供给水；一次洗烟室11；及洗气器20等。在将洗气器20内的固体物去除的情况下，自注药装置50将碱系清洗剂水溶液注入下部水槽44中，并使循环泵23工作而自喷嘴21洒水。若pH计52、pH计53的检测pH维持规定pH既定时间以上，则结束清洗。
主权项：1.一种排气处理设备的清洗方法，所述排气处理设备对来自电子零件制造工艺的排气进行处理，且湿式排气处理设备的清洗方法中，循环供给如下清洗液，即用于使堆积和或附着于所述排气处理设备的清洗对象的固体物溶解和或分散的清洗液，并且基于包含所述清洗液的pH、导电率、氧化还原电位及浑浊度中的至少一者的水质指标值的测定值，来管理清洗的结束和或清洗成分向清洗液中的追加注入。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 栗田工业株式会社 排气处理设备的清洗方法
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