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申请/专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
摘要：一种检测方法、系统、终端设备以及存储介质，检测方法包括：对待测件的第一表面进行照明；获取第一表面的第一图像、第二表面的第二图像以及侧面的第三信号；第一表面与第二表面为相对的两个表面；第三信号为待测件的侧面反射的散射光产生的光信号；根据第一图像、第二图像以及第三信号，检测待测件的边缘的待测特征。本申请不仅可以检测待测件的侧面的大尺寸缺陷，还可以进一步检测侧面是否存在小尺寸缺陷，降低后续制造环节的风险。
主权项：1.一种检测方法，其特征在于，包括：对待测件的第一表面进行照明；获取所述第一表面的第一图像、第二表面的第二图像以及侧面的第三信号；所述第一表面与所述第二表面为相对的两个表面；所述第三信号为所述待测件的侧面反射的散射光产生的光信号；根据所述第一图像、第二图像以及第三信号，检测所述待测件的边缘的待测特征。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳中科飞测科技股份有限公司 检测方法、系统、终端设备以及存储介质
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