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申请/专利权人：哈尔滨新光光电科技股份有限公司
摘要：一种PET基底激光、中长波红外复合反射膜及其制备方法，它涉及一种反射膜及其制备方法。本发明为了解决现有反射膜对激光、中长波红外反射率低的问题。本发明膜层结构关系为GHLHLHLHLHA，其中G为PET基底，H为Ge膜料，L为ZnS膜料，A为空气介质。制备方法：包括膜系结构设计、基底清洗、基底预热、基底二次清洗以及膜系镀制等组成，镀膜前，本底真空度优于6×10‑3Pa，Ge膜料采用电子束蒸发，ZnS膜料采用电阻加热蒸发，根据结构关系交替镀制，并全程开启离子辅助。本发明用于激光中波红外长波红外波束合成器以及反射膜的制备。
主权项：1.一种PET基底激光、中长波红外复合反射膜，其特征在于：它包括PET基底1、ZnS膜料2、Ge膜料3和空气介质4。
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