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申请/专利权人：深圳劲嘉聚能科技有限公司
摘要：本发明提供的一种蒸发镀膜设备及其抽真空方法、真空关闭方法，其中所述蒸发镀膜设备包括卷绕部、蒸发源和真空室，所述卷绕部和蒸发源设置于所述真空室内，所述卷绕部设置于真空室的上部、位于所述蒸发源的上方，所述蒸发源设置于所述真空室的下部、位于所述卷绕部的下方，所述真空室上设置有用于对所述蒸发源处进行抽真空的第一真空组和用于对所述卷绕部进行抽真空的第二真空组，所述第一真空组设置于所述真空室的下部，所述第二真空组设置于所述真空室的上部，所述蒸发源为蒸发舟或真空坩埚。本发明可以将膜内的空气全部抽完，防止膜的残余空气对膜上面的镀层以及蒸发舟或者坩埚的蒸镀效率产生影响。
主权项：1.一种蒸发镀膜设备，其特征在于，包括卷绕部、蒸发源和真空室，其特征在于，所述卷绕部和蒸发源设置于所述真空室内，所述卷绕部设置于真空室的上部、位于所述蒸发源的上方，所述蒸发源设置于所述真空室的下部、位于所述卷绕部的下方，所述真空室上设置有用于对所述蒸发源处进行抽真空的第一真空组和用于对所述卷绕部进行抽真空的第二真空组，所述第一真空组设置于所述真空室的下部，所述第二真空组设置于所述真空室的上部，所述蒸发源为蒸发舟或真空坩埚。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳劲嘉聚能科技有限公司 一种蒸发镀膜设备及其抽真空方法、真空关闭方法
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