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申请/专利权人：光驰科技(上海)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种真空封闭门、真空镀膜室和真空镀膜设备，涉及真空镀膜设备技术领域。真空封闭门包括门框、门体和驱动件，门体滑设于门框的滑轨内。门体包括平行设置的密封门和压紧门，密封门和压紧门之间设有传力机构，传力机构包括第一传力组件、第二传力组件和连杆，第一传力组件包括第一连接轴，第一连接轴设于密封门，第二传力组件包括第二连接轴，第二连接轴设于压紧门，连杆的两端分别与第一连接轴和第二连接轴转动连接；驱动件与压紧门连接，驱动件驱动压紧门，压紧门通过传力机构带动密封门共同沿滑轨移动，且连杆相对第一连接轴和第二连接轴转动，能驱动密封门向远离压紧门的一侧移动，以使密封门与密封面压紧。
主权项：1.真空封闭门，其特征在于，包括：门框1，所述门框1上设置有滑轨11；门体2，滑设于所述滑轨11内；所述门体2包括平行设置的密封门21和压紧门22，所述密封门21和所述压紧门22之间设有传力机构3，所述传力机构3包括第一传力组件31、第二传力组件32和连杆33，所述第一传力组件31包括第一连接轴311，所述第一连接轴311设于所述密封门21，所述第二传力组件32包括第二连接轴321，所述第二连接轴321设于所述压紧门22，所述连杆33的两端分别与所述第一连接轴311和所述第二连接轴321转动连接；驱动件4，所述驱动件4与所述压紧门22连接，所述驱动件4驱动所述压紧门22，所述压紧门22通过所述传力机构3带动所述密封门21共同沿所述滑轨11移动，且所述连杆33相对所述第一连接轴311和所述第二连接轴321转动，能驱动所述密封门21向远离所述压紧门22的一侧移动，以使所述密封门21与密封面压紧。
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