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申请/专利权人：江苏汇显显示技术有限公司
摘要：本申请公开了一种蒸镀系统及太阳能电池的生产设备，蒸镀系统包括蒸镀腔室、蒸镀源组件和至少一个沉积组件，蒸镀源组件具有和蒸镀腔室连通的蒸镀出口，用于向蒸镀腔室输入蒸发材料；沉积组件设置于蒸镀腔室中，沉积组件包括传动轴和承载件，传动轴可转动设置；承载件连接在传动轴上，且包括用于承载基板的多个载台，多个载台在传动轴上间隔分布。
主权项：1.一种蒸镀系统，其特征在于，包括：蒸镀腔室；蒸镀源组件，具有和蒸镀腔室连通的蒸镀出口，用于向蒸镀腔室输入蒸发材料；至少一个沉积组件，设置于所述蒸镀腔室中，所述沉积组件包括传动轴和承载件，所述传动轴可转动设置，所述承载件连接于所述传动轴上，且包括用于承载基板的多个载台，多个载台在所述传动轴上间隔分布。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏汇显显示技术有限公司 蒸镀系统及太阳能电池的生产设备
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