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申请/专利权人：日本麦可罗尼克斯股份有限公司
摘要：探针具有顶端部、臂部、支承部以及引导部。顶端部具有与被检体接触的接触部。臂部是具有将自由端与固定端连结的连接臂的悬臂构造，自由端与顶端部连接。支承部与固定端连接。引导部与臂部的朝向从接触部观察时被检体所处的顶端方向的设置区域连接，并比设置区域向顶端方向突出。
主权项：1.一种探针，其使用于被检体的检查，其中，该探针具备：顶端部，其具有与所述被检体接触的接触部；臂部，其是具有将自由端与固定端连结的连接臂的悬臂构造，所述自由端与所述顶端部连接；支承部，其与所述固定端连接；以及引导部，其与所述臂部的朝向从所述接触部观察时所述被检体所处的顶端方向的设置区域连接，并比所述设置区域向所述顶端方向突出。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 探针、探针保持装置以及探针的制造方法
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