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申请/专利权人：上海汉虹精密机械有限公司
摘要：本发明涉及机械技术领域。一种碳化硅炉的真空系统，包括旋片油泵，旋片油泵通过三通接头对接第一抽真空管路以及第二抽真空管路，第一抽真空管路以及第二抽真空管路均与碳化硅炉腔体对接导通；第一抽真空管路从碳化硅炉腔体至旋片油泵依次途经排气机构、第一高真空角阀；第二抽真空管路从碳化硅炉腔体至旋片油泵依次途经插板阀、分子泵以及第二高真空角阀；碳化硅炉腔体连接有一检测管路，检测管路上安装有皮拉尼真空计以及电离规真空计。本碳化硅炉的真空系统是旋片泵、分子泵叠加使用，可以达到更高的真空度要求。真空度可以≤5x10^‑4Pa。
主权项：1.一种碳化硅炉的真空系统，包括旋片油泵，其特征在于，所述旋片油泵通过三通接头对接第一抽真空管路以及第二抽真空管路，所述第一抽真空管路以及第二抽真空管路均与所述碳化硅炉腔体对接导通；所述第一抽真空管路从所述碳化硅炉腔体至所述旋片油泵依次途经排气机构、第一高真空角阀；所述第二抽真空管路从所述碳化硅炉腔体至所述旋片油泵依次途经插板阀、分子泵以及第二高真空角阀；所述碳化硅炉腔体连接有一检测管路，所述检测管路上安装有皮拉尼真空计以及电离规真空计。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海汉虹精密机械有限公司 一种碳化硅炉的真空系统
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