龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：江苏元夫半导体科技有限公司
摘要：本申请公开了一种化学机械抛光设备及抛光头运动驱动方法，该化学机械抛光设备包括物料装载件、抛光平台、至少两个抛光头机构，各抛光头机构之间相互独立设置；抛光头机构包括抛光头组件、驱动组件，抛光头组件包括抛光头；驱动组件用于驱动抛光头组件在物料装载件和抛光平台之间移动，以使抛光头在物料装载件和抛光平台之间传输物料；至少一个抛光头机构与抛光平台抛光物料的同时，另外的至少一个抛光头机构在该抛光平台和物料装载件之间传输物料。本申请中，各抛光头的运动时序不会相互影响、相互制约，各抛光头受力时也不会相互干扰。
主权项：1.一种化学机械抛光设备，其特征在于，包括物料装载件、抛光平台、至少两个抛光头机构，各所述抛光头机构之间相互独立设置；所述抛光头机构包括抛光头组件、与所述抛光头组件相连的驱动组件，所述抛光头组件包括抛光头；所述驱动组件用于驱动所述抛光头组件在所述物料装载件和所述抛光平台之间移动，以使所述抛光头在所述物料装载件和所述抛光平台之间传输物料；至少一个所述抛光头机构与所述抛光平台抛光所述物料的同时，另外的至少一个所述抛光头机构在该抛光平台和所述物料装载件之间传输所述物料。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏元夫半导体科技有限公司 一种化学机械抛光设备及抛光头运动驱动方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号