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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：检查装置包括用于放置基板的载台、对放置在载台上的基板照射检查光的照射装置、以及检查受到检查光照射的基板的测试器。照射装置具备由多个LED连接而成的发光部、输出要供给到发光部的电力的固定电源部、以及设置在发光部与固定电源部之间的恒流部。固定电源部具有利用谐振现象进行开关的多个开关电源。恒流部中，并联连接着第一恒流源和第二恒流源，该第一恒流源被输入多个开关电源的电力，并按照第一分辨率调整电流，该第二恒流源被输入多个开关电源的电力，并按照比第一分辨率小的第二分辨率调整电流。
主权项：1.一种检查装置，其对基板进行检查，包括：载台，其用于放置所述基板；照射装置，其设置于所述载台，对放置在该载台上的所述基板照射检查光；以及测试器，其对受到所述检查光照射的所述基板进行检查，其中，所述照射装置具备：发光部，其由多个LED连接而成；固定电源部，其输出要供给到所述发光部的电力；以及恒流部，其设置在所述发光部与所述固定电源部之间，根据从所述固定电源部被输入的电压对电流量进行调整并供给到所述发光部，所述固定电源部具有利用谐振现象进行开关的多个开关电源，所述恒流部中，并联连接着第一恒流源和第二恒流源，所述第一恒流源被输入多个所述开关电源的电力，并按照第一分辨率对要供给到所述发光部的电流进行调整，第二恒流源被输入多个所述开关电源的电力，并按照第二分辨率对要供给到所述发光部的电流进行调整，所述第二分辨率小于所述第一分辨率。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 检查装置和检查方法
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